微电子压电式转换器
压强转换器

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压电式转换器结构特点

压电式转换器结构特点

惠斯登应变仪电桥

铝制接触面

蓝宝石单晶薄膜

钛金属薄膜

  • 压电式转换器的敏感元件为带有单晶硅应变片的双层蓝宝石—钛薄膜。
  • 蓝宝石出色的绝缘与辐射安定性确保敏感元件能够在温度范围自-200至+350°С,强电磁干扰和辐射作用下使用。
  • 蓝宝石单晶薄膜是理想的弹性元件,搭配钛金属薄膜能够赋予产品卓越的变形性能,可在400°С高温下保持弹性。
  • 单晶硅应变片和蓝宝石在原子层面上结合(异质外延),几乎避免了滞后现象和疲劳效应的出现。
  • 应变敏感元件采用固体微电子组合方法制成,输出参数品质优异,重复性良好。

“Microtensor”有限责任公司所产超压转换器结构分为三组

双膜片压电式传感器(自0-0.06至0-1兆帕)

1.双膜片压电式转换器 (自0-0.06至0-1兆帕)

双膜片压电式转换器结构包括应变敏感薄膜和间隔钛薄膜,二者通过连接杆硬性连接。
被测介质压强作用于拥有较大有效面积的间隔膜上。间隔膜将被测介质压强转换为力,并通过连接杆传递至应变敏感薄膜硬心。
 

双膜片压电式转换器最小的工作压强为0-0.06兆帕。间隔膜直径为28毫米。

  1. 应变敏感薄膜
  2. 电解质收集器
  3. 钛金属外壳
  4. 连接杆
  5. 间隔钛薄膜
焊接单膜片压电式传感器(自0-1.6至0-10 兆帕)

2.焊接单膜片压电式转换器 (自0-1.6至0-10 兆帕)

焊接单膜片压电式转换器结构包括应变敏感薄膜和外壳,二者通过焊接连为一体
被测介质压强作用于应变敏感薄膜内腔上。最小工作压强为0-1.6兆帕。应变敏感薄膜直径为5.5毫米。

  1. 应变敏感薄膜
  2. 电解质收集器
  3. 钛金属外壳

3.整个车制的单膜片压电式转换器。(自0-16至0-500兆帕)

整体单膜片压电式转换器结构中无焊接接头,在脉冲和高压作用下具有极高的可靠性。
 

应变敏感薄膜直径为2.5-4.0毫米。

  1. 应变敏感薄膜
  2. 电解质收集器
  3. 钛金属外壳